プロジェクトの詳細
説明
熱力学的制約に拘束されない自由な組み合わせの様々なナノコンポジット膜を成膜するために差動排気型同時成膜装置(DPCS)を新たに開発した。硬質保護膜の分野では,窒化物(CrAlNまたはAlN)と酸化物(Al_2O_3またはSiO_2)からなる複合膜の作製を試みた。また,従来型装置を用いて作製されたCrAlN/BN膜の大気中熱処理によりCrAlNとアルミナの複合膜を得た。他方,機能成膜では成膜中にAlがほとんど酸化されることなくCeO_2/Al積層膜を得ることに成功した。
| ステータス | 終了 |
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| 有効開始/終了日 | 2009/04/01 → 2012/03/31 |
フィンガープリント
このプロジェクトで扱った研究トピックを検索します。これらのラベルは、プロジェクトの研究費/助成金に基づいて生成されます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。
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Deposition of CeO_2/Al thin films by differential pumping co-sputtering system
Saiki, A., Kurokawa, S., Hashidume, T. & Terayama, K., 2012.研究成果: 会議への寄与 › 学会発表
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Deposition of novel nanocomposite films by a newly developed differential pumping co-sputtering system
Nose, M., Kurimoto, T., Saiki, A., Matsuda, K. & Terayama, K., 2012/01, In: Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films. 30, 1, 011502.研究成果: ジャーナルへの寄稿 › 学術論文 › 査読
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Oxidation resistance and self hardening of CrAlN/BN nanocomposite coatings
Nose, M., Watanuki, T., Kawabata, T., Hatano, Y., Matsuda, K. & Ikeno, S., 2012, THERMEC 2011. Trans Tech Publications Ltd, p. 2559-2564 6 p. (Materials Science Forum; vol. 706-709).研究成果: 書籍の章/レポート/会議録 › 会議への寄与 › 査読
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