差動排気同時成膜技術の確立による次世代型ナノコンポジット膜の創製

熱力学的制約に拘束されない自由な組み合わせの様々なナノコンポジット膜を成膜するために差動排気型同時成膜装置(DPCS)を新たに開発した。硬質保護膜の分野では,窒化物(CrAlNまたはAlN)と酸化物(Al_2O_3またはSiO_2)からなる複合膜の作製を試みた。また,従来型装置を用いて作製されたCrAlN/BN膜の大気中熱処理によりCrAlNとアルミナの複合膜を得た。他方,機能成膜では成膜中にAlがほとんど酸化されることなくCeO_2/Al積層膜を得ることに成功した。