高強度パルス重イオンビーム技術の高度化と次世代半導体用導電性制御技術の開発

Status	Finished
Effective start/end date	2019/04/01 → 2023/03/31

Access Project

アルミニウムイオン源を組込んだ両極性パルス加速器で生成されるパルスイオンビームの特性評価
藤野朗, 伊藤弘昭 & 竹崎太智, 2024.
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定常プラズマとパルス磁場の相互作用の解明に向けたRF プラズマのIEDF計測
竹崎太智, 宮本淳矢, 松澤匠 & 伊藤弘昭, 2024.
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2次元PICシミュレーションによる仮想陰極発振器の電子挙動とマイクロ波の解析
山本敦志, 竹崎太智 & 伊藤弘昭, 2023.
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